項(xiàng)目領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造，泛芯片制造，微加工

項(xiàng)目簡(jiǎn)介：光刻機(jī)是微加工的最基礎(chǔ)裝備。無(wú)掩膜光刻機(jī)（Maskless Aligner）是近年來(lái)出現(xiàn)的一個(gè)新品類的光刻機(jī)。它采用數(shù)字投影芯片作為圖案生成器，免去了實(shí)體掩膜板，非常適用于小批量試制，節(jié)省了掩膜的制作成本和耗時(shí)。數(shù)字投影技術(shù)還帶來(lái)了“灰度光刻”新功能，可用于制作未來(lái)的微光學(xué)器件。

項(xiàng)目單位：北京瑞熒儀器科技有限公司